UM定位工作台系列
UM对位平台采用DXM无槽直线电机/及盘式DDR为动力，利用交叉滚子导轨与轴还做导向，内置高分辨率光栅，实现XYO三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构，可用于诸如半导体/液晶相关制造设备和清洁环境下的图象对准处理。
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产品描述
UM定位工作台系列介绍
UM120
外形尺寸
技术参数
| 参数 | UM120-01X01YR-3 | ||
|---|---|---|---|
| X | Y | R | |
| 峰值推力（扭矩） | 80N | 80N | 2.0 N.m |
| 连续推力（扭矩） | 15N | 15N | 0.4 N.m |
| 最大可搬运质量 | 5.9Kg | 5.9Kg | 6.8Kg |
| 有效行程（角度） | 20mm | 20mm | 60° |
| 分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.36角秒 |
| 最大速度 | 400mm/s | 400mm/s | 400°/s |
| 重复定位精度 | ±0.5um | ±0.5um | ±0.8角秒 |
UM200
外形尺寸
技术参数
| 参数 | UM200-01X01YR-3 | ||
|---|---|---|---|
| X | Y | R | |
| 峰值推力（扭矩） | 400N | 400N | 4.0 N.m |
| 连续推力（扭矩） | 70N | 70N | 1.2 N.m |
| 最大可搬运质量 | 30Kg | 30Kg | 12.3Kg |
| 有效行程（角度） | 25mm | 25mm | 280° |
| 分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.25角秒 |
| 最大速度 | 400mm/s | 400mm/s | 270°/s |
| 重复定位精度 | ±0.5um | ±0.5um | ±0.5角秒 |
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